국내1위 설비사 SEMES에 다녀왔어요! (2024)

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국내1위 설비사 SEMES에 다녀왔어요!

까망콩 2019. 12. 4. 23:45

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위치세메스

안녕하세용 여러분!

까망콩이 오늘은 어디에 다녀왔을까요!

바로바로

삼성에서 만든 자회사이자

국내 설비사 최초로 매출 1조,2조를 돌파한

SEMES에 다녀왔습니다

전세계 반도체 사업규모가 490조를 넘었고

디스플레이가 150조를 넘었다고 하죠?

이런 흐름속에서

공정기술도 물론 중요하지만

설비기술의 중요성이 나날이 높아지고 있어요!

좀 더 미세하고 정교한 반도체 생산을 위해서는

어떤 장비를 쓰느냐에 따라

수율이 천차만별로 달라질 수 있거든요

세메스는

반도체 전공정장비업체로 세계 top7에 이름을 올렸고

국내에서는 당당히 1위를 하고 있는

국내 최대의 장비업체예요

국내 설비사 최초로 매출 1조를 돌파했고

지난 2017년에는 2조를 돌파했다고 해요

앞으로는 세계 5위를 향해

열심히 달리고 있다고 합니다!

세메스는 천안과 화성에 사업장을 두고 있는데요!

천안사업장이 본사이고

화성사업장은 R&D 를 중심으로

운영되고 있다고 해요

직원 수로 본다면

비율은 천안:화성=3:1정도로

총 2000명이 넘는 분들이 근무하고 계세요!

보시는 모습은 천안사업장 전경이예요!

천안역에서 택시타구 저기 내렸는데

아악각각깍

공항 출입국심사할때처럼

소지품 검사를 해야해서....

보이는 부분 뒤쪽으로 빙~돌아갔어요

폰에 있는 카메라도 스티커로 다 가려져서

사진이 없어요ㅜㅠㅜㅜ

양해바래용 헿헿

CLEAN 장비

반도체 전공정은 front end,

반도체 후공정은 back end라고 하죠?

그럼 front end는 어디서부터 어디까지를 의미하는 걸까요?

Clean- Etch- Photo-Deposition-

Ion Implanation-Metal interconnection

이라고 할 수 있어요!

여기서 SEMES는

Front end 중에서도 cleaning(세정공정)

부분에 해당하는 장비인 Iris 로

Global top에 이름을 올리게 되었고

큰 매출을 올리고 있다고 해요

IRIS PRIME -SEMES

반도체 세정 왜 중요할까요?

까망콩이 한번 공부를 해보았어요

실리콘 기판위에 생성되는 파티클, 유기/금속 오염물들은

제품의 수율과 품질, 신뢰성 등에

많은 문제점을 일으킬 수 있기 때문이예요!

이러한 오염물질을 없애기 위해

습식세정과 건식세정방식이 이용되고 있는데요

현재까지는 습식세정이 널리 사용되고 있다고해요

1) DI water로 쉽게 세척이 가능하고

2) 건조 후에도 잔류물이 매우 적으며

3) 상대적으로 많은 종류의 화학용액을 사용할 수 있기 때문이예요

그런데!

습식세정의 경우에는 주로 강염기나, 강산용액을 사용하게 되는데

이런 물질들은 대부분 인체에 유해하고 환경에도 좋지 않잖아요

또한, 화학물질을 사용함으로써

재오염이 일어날 가능성이 있고,

강염기를 사용하는 세정의 경우에는

미세한 표면거칠기를 유발하기도 해서

최근에는 기상세정 ,

즉 건식 세정법이 새로 개발되고 있다고 하네요

건식세정법에서는 화학물질을 쓰지 않는 대신

플라즈마나, 자외선, 열처리 같은 방법을 이용한다고 합니다!

PLASMA 장비

클리닝 장비 이외에도 Plasma를 이용한 etching장비를 만들고 있었어요

반도체 공정중에 PR막으로 도포되지 않은 부분을

선택적으로 제거하는 과정을 etching이라고 하죠?

이 etching을 하는 방식에도 wet(습식) / Dry(건식)이 있어요

이 중에서도 dry etching기술은 반도체 패턴의 미세화에 힘입어

현재 활발히 기술개발이 이루어지고 있죠

대부분 플라즈마를 이용하게 되는데요

이런 plasma source type에는

축전 결합형 -CCP(capacitive coupled plasma)와

유도 결합형 -ICP(Inductively coupled plasma)가 있답니다.

ScienceDirect.com

CCP의 경우,

방전 중의 플라스마가

주로 기능성 박막이나 반도체 미세 패턴을 만드는데 사용되고

시료에 입사하는 이온의 에너지가 높지 않으며

이온의 포격 효과가 적게 요구되는 공정에 적합합니다.

ICP의 경우,

방전관 주위에 코일을 감아서

자계가 형성되면서 유도 전류가 흘러 전달되게 됩니다.

높은 에너지를 가진 이온들이 시료 표면에 입사하므로

이온의 포격 효과가 요구되는 공정에 유리하고

10mTorr이하의 낮은 압력에서 plasma의 발생 및 유지가 가능한 장점이 있어요

MICHELAN O2 -SEMES

이처럼 CCP를 이용한 Dielectric Etcher인

MICHELAN O2라는 제품이 있어요!

(HARC Etching 및 Via/Dama Etching용 CCP 타입 Plasma Etcher)

MICHELAN C3 -SEMES

반대로, ICP를 이용한 Conductor Etcher인

MICHELAN C3이 있습니다.

(WLP, SOH, DPT Etching용 ICP 타입 Plasma Etcher)

DISPLAY

이번에 세메스를 탐방하면서

또 새롭게 관심갖게 된 분야가

생겼는데요!

이번엔 디스플레이와 관련된 기술입니다~

바로 잉크젯(Ink-jet) 기술인데요!!

잉크젯이라고 하면 프린트기 아닌가요?

잉크젯을 디스플레이 제조에 사용할 수 있다구?

보통 우리가 알고 있는 잉크젯 기술은

연속적으로 잉크 방울을 형성해서

demand on drop(DOD)방식으로 인쇄를 하는 방법입니다

Thermal(열 이용)방식과 piezoelectic(압력 이용)방식이 널리 사용되고 있다고 하는데요

Thermal방식의 경우에는

저가이지만 잉크가 열에 노출되는 우려가 있는 반면

Piezoelectric 방식

상대적으로 고가이지만 정교하고,

상온에서 동작하기 때문에 장기간 사용이 가능하다고 해요

이런 잉크젯 프린팅 기술에

MEMS 를 적용시킨 헤드들이 많이 개발되고 있어서

이제는 디스플레이를 제조하는데에도 사용이 될 수 있다고 해요!

기존의 리소그래피 공정을 사용했을 때 보다

공정수도 훨씬 적게들고

설비투자비용도 훨씬 적게 들며

미세 패턴 형성, 비접촉식 분야에서 장점이 있다고 해요

기존 리소그래피 기술과 잉크젯 기술 비교

우리나라가 LCD를 이어서 OLED로 세계 디스플레이 시장을 이끌고 있다고 하죠?

잉크젯 기술은 OLED에도 당연히 적용이 가능하답니다!

장비도 원재료도 다들 국산화가 되었으면 좋겠네용 ㅜㅜ

이밖에도 photo장비, line automation등 많은 사업을 하고 있었어요

헉헉,,

너무 많아서 다 알려드릴 수 없다는거

아시죠...?

(까망콩 죽어...ㅜ)

OHT system -SEMES

마지막으로 신기했던것 하나만 더 적고 마칠게요!

OHT는 Over head Transport의 줄임말이라고 해요

보시다시피 천장에 달아서

웨이퍼 보관용기의 자동 반송을 위한

물류시스템이라고 하네요

제조업 관련된 공장에서 일해본적이 없는 까망콩은

이걸보고 너무 신기했어요...

ㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋ

혁명! 같은 느낌,,,,

제가 준비한 내용은 여기까지 입니다!

어떠셨나요?!

사실 엄청 많은 장비들이 있는데

직원이 아닌 그저,, 대학생인

저의 능력에는 한계가 있어서,,

다 설명하지 못하는 점이 너무 아쉬워요 ㅠㅠ

제가 관심가는 장비 위주로 포스팅한것도 있구요

헤헷 사심가득한 검은콩나라,,,♥

더 궁금하신분들은 아래 세메스 홈페이지를 참고해주세요

다음편은 채용정보와 엔지니어 인터뷰로 돌아올게요!

빠빠잉

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Address: Suite 878 3699 Chantelle Roads, Colebury, NC 68599

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Job: Chief Farming Manager

Hobby: Mycology, Stone skipping, Dowsing, Whittling, Taxidermy, Sand art, Roller skating

Introduction: My name is Kerri Lueilwitz, I am a courageous, gentle, quaint, thankful, outstanding, brave, vast person who loves writing and wants to share my knowledge and understanding with you.